ハードディスクの欠陥検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066995
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281590
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ハードディスク表面の種々の欠陥を高感度に検出することができると共に欠陥種類の識別を可能にすることができる磁気ハードディスクの欠陥検出方法を提供する。【構成】ハードディスク表面に、円偏光状態の光を照射し、この反射光の一部を分離して検光子を介して検出する第1の検出系Aと、散乱および回折光を分離して検出する第2の検出系Bと、ハードディスク表面からの正反射光を分離して検出する第3の検出系Cとを具備し、これら3つの検出系の出力の相対関係から欠陥の種類を識別するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ハードディスク表面に、円偏光状態の光を照射し、この反射光の一部を分離して検光子を介して検出する第1の検出系と、散乱および回折光を分離して検出する第2の検出系と、ハードディスク表面からの正反射光を分離して検出する第3の検出系とを具備し、これら3つの検出系の出力の相対関係から欠陥の種類を識別するようにしたことを特徴とするハードディスクの欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-010139
特開平2-010139
特開平1-155247

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