特許
J-GLOBAL ID：200903096230347967
回折光学素子及びそれを用いた走査光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-159956
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337853
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 容易な構成でかつコストアップを伴わないで回折光学素子の特にその軸外における回折効率の低下を低減し、被走査面上における像面照度の均一性を高め、諸変動による収差変化が少なく高精細印字に適した回折光学素子及びそれを用いた走査光学装置を得ること。【解決手段】 基板面上に回折格子を形成し、入射光束を回折させ所定のパワーを得る回折光学素子において、該回折格子はパワーを発生させる傾斜部と、該傾斜部の一方の端部と該基板とをつなぐ壁部とを有し、該壁部を該基板面の法線に対して傾かせることにより、該部分での回折効率を高めていること。
請求項（抜粋）：
基板面上に回折格子を形成し、入射光束を回折させ所定のパワーを得る回折光学素子において、該回折格子はパワーを発生させる傾斜部と、該傾斜部の一方の端部と該基板とをつなぐ壁部とを有し、該壁部を該基板面の法線に対して傾かせることにより、該部分での回折効率を高めていることを特徴とする回折光学素子。
IPC (5件)：
G02B 26/10
, G02B 26/10 102
, B41J 2/44
, G02B 5/18
, H04N 1/113
G02B 26/10 F
, G02B 26/10 102
, G02B 5/18
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
