特許

J-GLOBAL ID：200903096232045020

露光装置および露光装置の照度均一性調整方法

発明者： 田中 義彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003038
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208386
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】照度均一性を定量的に調整でき、照度均一性を安定化しかつ向上できる露光装置および露光装置の照度均一性調整方法を提供する。【解決手段】複数の領域に分割された所定の露光面の露光領域の各分割領域における照度を検出する照度検出器12と、露光用光源1の照明光学系5に対する位置を変更する位置調整部2と、露光用光源1の複数位置における露光領域の各分割領域の照度データに基づいて、露光領域内の照度均一性を最小化する露光用光源の位置を算出する光源位置決定手段としての照度均一性解析装置21とを有する。

請求項（抜粋）：

露光用光源と、前記露光用光源からの光をレチクルパターンに与えるための照明光学系と、前記照明光学系からの光をレチクルパターンを通じて所定の露光面に投影露光する投影光学系とを有する露光装置の照度均一性調整方法であって、前記露光用光源の前記照明光学系に対する位置と前記所定の露光面の露光領域内での照度均一性との相関関係を求め、前記相関関係に基づいて照度均一性を最小化する前記露光用光源の前記照明光学系に対する最適位置を算出し、前記最適位置に前記露光用光源を移動調整する露光装置の照度均一性調整方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 521

Fターム (4件)：

5F046BA03 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DB10