特許
J-GLOBAL ID：200903096233203826
電子ビーム照射装置および電子ビーム透過膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202023
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002100
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 電子ビームの透過性を損うことなく、耐食性耐クリープ特性を改善することができる窓を有する電子ビーム照射装置、およびこの装置に用いる電子ビーム透過膜の製造方法を提供する。【構成】 電子ビーム照射装置は、内部に電子ビーム発生装置を有するチャンバー(1)と、チャンバー(1)内の電子ビーム(9)を外部に引き出す窓(7)とを備えている。窓(7)は電子ビーム透過膜(7a)を有し、この電子ビーム透過膜(7a)はTi-Al系金属間化合物を含む。窓枠部材(7b)は、電子ビーム透過膜(7a)の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する材質からなっている。電子ビーム透過膜の製造方法は、TiあるいはTiを含む合金からなる箔にAlをコーティングする工程と、コーティングされた箔を拡散熱処理する工程とを備えている。
請求項（抜粋）：
内部に電子ビーム発生装置を有するチャンバーと、チャンバー内の電子ビームを外部に引き出す窓とを備えた電子ビーム照射装置において、前記窓は電子ビーム透過膜を有し、この電子ビーム透過膜はTi-Al系金属間化合物を含むことを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (2件)：
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