磁気ヘッド装置用スライダの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138997
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325340
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】イオンエッチングによって磁気ヘッド素子形成面に再付着物が生じないようにした磁気ヘッド装置用スライダの製造方法を提供する。【構成】磁気媒体と対向する面側へのイオンエッチング工程を有する磁気ヘッド装置用スライダの製造方法である。この製造方法は、イオンエッチング工程の前に実施されスライダの少なくとも磁気ヘッド素子形成面12を保護膜16で被覆する保護膜形成工程と、イオンエッチング工程の後に実施され保護膜16を除去する除去工程とを備えている。

請求項（抜粋）：

磁気媒体と対向する面側にイオンエッチングにより所定パターンの形成を行うイオンエッチング工程を有する磁気ヘッド装置用スライダの製造方法であって、前記イオンエッチング工程の前に実施され該スライダの少なくとも磁気ヘッド素子形成面を保護膜で被覆する保護膜形成工程と、該イオンエッチング工程の後に実施され該保護膜を除去する除去工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド装置用スライダの製造方法。

IPC (2件)：

G11B 5/60 , G11B 21/21 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭60-193182
特開昭60-136025
特開昭60-193182

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