特許

J-GLOBAL ID：200903096252686714

半導体加速度センサー

発明者： 野原 一也 ,  笠野 文宏 ,  一矢 光雄 ,  浜岡 哲也 ,  谷口 直博
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-314632
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163937
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 X,Y,Zの3軸で表現される3次元座標系における加速度を検出すること。【構成】 X軸方向から加速度センサーAに加速度Gがかかった場合、全てのピエゾ抵抗RX1〜RX4、RY1〜RY4、RZ1〜RZ4は引張応力を受け、ピエゾ抵抗RX1とRX3の抵抗値は減少する。その他のピエゾ抵抗の抵抗値は増加するので、これらの抵抗をブリッジに構成すれば、X軸の加速度Gを検出するブリッジからのみ出力が得られ、Y軸及びZ軸の加速度Gを検出するブリッジの出力は0となる。次に、Y軸方向又はZ軸方向から加速度Gがかかった場合、上記と同様に、Y軸又はZ軸の加速度Gを検出するブリッジの出力のみが得られ、他の2つのブリッジの出力は0となる。従って、3軸方向の加速度Gをそれぞれ独立して検出することができるものである。

請求項（抜粋）：

半導体基板を加工して形成したおもり部と、このおもり部と一体に形成されたたわみ部と、このたわみ部を支持固定する支持部と、上記たわみ部に配置され、ブリッジ結線された4つのピエゾ抵抗とを備え、印加された加速度に比例した電圧を上記ブリッジ出力として取り出すようにした半導体加速度センサーにおいて、上記おもり部の一端の両側から他端側に向かって支持部を延設し、上記たわみ部に、3次元座標系のX軸,Y軸及びZ軸のベクトル成分として表現される加速度を検出すべくブリッジ結線し、X成分検出用,Y成分検出用,Z成分検出用の3種類のそれぞれ4つのピエゾ抵抗を、各々のブリッジが他軸の加速度に対して出力が出ないように配置したことを特徴とする半導体加速度センサー。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/09