特許

J-GLOBAL ID：200903096253080852

研磨ヘツドおよび研磨装置

発明者： 瀧本 雅文 ,  出口 明信 ,  高下 順治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252401
公開番号（公開出願番号）：特開平5-092362
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 被加工物の表面形状のあらゆる曲率に対して必要な研磨加工力の連続的な変化に対応する。【構成】 研磨ヘッド50の本体51は、研磨ヘッド取付板48の所定位置に固定される。多孔質材55は、円筒形状のスピンドル52の外径よりも大きい内径を持ち、供給される空気P3がその隙間に流れ込むエアベアリングによってスピンドル52を非接触で支持する。しかし、上下方向には拘束なく、したがって、スピンドル52は矢印A方向には可動である。2つの空気室53a,53bの各々に供給される空気P1,P2の圧力に差が生ずれば、スピンドル52の上下方向に力が発生する。一方、弾性球体工具65は回転軸64に装着され、この回転軸64は、複数のエアベアリングにより支持されている。

請求項（抜粋）：

研磨砥粒が分散された研磨液中に被加工物が浸され、一方、弾性球体工具が被加工物に押し付けられ、かつ回転し、それに誘発される前記研磨液の流れにより研磨液中の研磨砥粒が前記被加工物に衝突し、前記被加工物の表面微小領域が加工されるように構成された研磨装置における前記弾性球体工具を被加工物に押し付ける加重手段と、前記弾性球体工具を回転させる回転手段とを有する研磨ヘッドにおいて、前記加重手段にエアシリンダを持ち、その加重軸は上下方向に移動可能なガイドをエアベアリングによって支持され、また、回転手段においては、その回転軸が前記加重軸に任意の角度を有して装着され、回転方向に移動可能にエアベアリングによって支持されていることを特徴とする研磨ヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  B24B 1/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-107964
  
• 特開昭62-088565