特許

J-GLOBAL ID：200903096257956558

曲面反射鏡およびその製造方法

発明者： 登坂 裕司
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138804
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333512
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】初期形状が理想的な反射面形状となる曲面反射鏡及びこの曲面反射鏡を製造するための方法を提供することである。【解決手段】曲面反射鏡101は反射面104が形成された膜103と、膜103の周縁部を保持する保持部102とを備えている。膜103には膜103の厚み方向に分布をもち膜103に沿った方向の応力を発生させる内部応力領域105が形成されている。膜103は内部応力領域105の応力の分布に応じた歪みをもち、この歪みに応じて撓み、反射面104に曲面が形成される。

請求項（抜粋）：

反射面が形成された膜と、この膜の周縁部を保持する保持部とを備えており、上記膜には膜の厚み方向に分布をもち膜に沿った方向に応力を発生させる内部応力領域が形成されており、上記膜は内部応力領域の応力分布に応じた歪みをもち、この歪みに応じて撓み、上記反射面に曲面が形成されることを特徴とする曲面反射鏡。

IPC (3件)：

G02B 5/08 ,  G02B 5/10 ,  G02B 7/198

FI (4件)：

G02B 5/08 A ,  G02B 5/10 B ,  G02B 5/10 C ,  G02B 7/18 B

Fターム (17件)：

2H042DA01 ,  2H042DA10 ,  2H042DA12 ,  2H042DA21 ,  2H042DC01 ,  2H042DC02 ,  2H042DC03 ,  2H042DC08 ,  2H042DC11 ,  2H042DD06 ,  2H042DD07 ,  2H042DD08 ,  2H042DD11 ,  2H042DD12 ,  2H042DD13 ,  2H042DE07 ,  2H043BC01