特許
J-GLOBAL ID：200903096266924260
導電性酸化物およびそれを用いた電極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩澤 寿夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-065840
公開番号（公開出願番号）：特開平8-245220
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 光学的吸収端が400nmより短波長にあって、膜厚によらず透明な膜を提供でき、かつ良好な電気伝導率を有する新規な材料および電極の提供。【構成】 一般式M(1)x M(2)y Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、M(1)はMg及びZnのうちの少なくとも1つの元素であり、M(2)はAl及びGaのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が0.2〜1.8:1の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが(x+3y/2+3z/2) の3×10-5〜1×10-1倍の範囲である)で表される導電性酸化物。前記一般式(但し、dの下限は0)で表され、かつM(1)、M(2)及びInのうちの少なくとも1種の元素の一部が、他の元素で置換されており、M(1)と置換される元素は原子価が2価以上であり、M(2)及びInと置換される元素は原子価が3価以上である導電性酸化物。
請求項（抜粋）：
一般式M(1)x M(2)y Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、M(1)はマグネシウム及び亜鉛のうちの少なくとも1つの元素であり、M(2)はアルミニウム及びガリウムのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が0.2〜1.8:1の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが(x+3y/2+3z/2) の3×10-5〜1×10-1倍の範囲である)で表されることを特徴とする導電性酸化物。
IPC (3件)：
C01G 15/00
, H01L 21/285 301
, H01L 31/04
C01G 15/00 B
, C01G 15/00 D
, H01L 21/285 301 Z
, H01L 31/04 H
