特許

J-GLOBAL ID：200903096267067360

露光装置

発明者： 長山 匡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-163851
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326354
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 照明光源が小型で且つ維持コストが低く、被照射面において高い照度を得ること。【解決手段】 照明光を供給するための複数の光源手段と、複数の光源手段からの光束を、互いにほぼ平行で且つ空間的に密に配列された複数の平行光束に変換するための光束変換手段と、光束変換手段を介して形成された複数の平行光束に基づいて多数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、多光源像形成手段により形成された多数の光源像からの光束を集光してマスク上を重畳的に照明する集光光学系とを備えている。

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたマスクをほぼ均一に照明するための照明光学系を備え、前記マスク上に形成されたパターンの像を感光基板上に形成する露光装置において、前記照明光学系は、照明光を供給するための複数の光源手段と、前記複数の光源手段からの光束を、互いにほぼ平行で且つ空間的に密に配列された複数の平行光束に変換するための光束変換手段と、前記光束変換手段を介して形成された複数の平行光束に基づいて多数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、前記多光源像形成手段により形成された多数の光源像からの光束を集光して前記マスク上を重畳的に照明する集光光学系と、を備えていることを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 B ,  G02B 3/00 A ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339192   出願人：ソニー株式会社