特許

J-GLOBAL ID：200903096267433600

湿度センサ

発明者： 千葉 悟志 ,  柳澤 利昭 ,  池尻 昌久
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165753
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020080
出願日： 1993年07月05日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【構成】 片面の一部をエッチングしたシリコン基板の表面に酸化膜を形成し、エッチングしていない面の酸化膜の上に櫛歯電極を形成し、その櫛歯電極部分を覆うように感湿膜を形成する。その裏面のエッチング面にヒーター電極を形成し、ヒーター電極の導通部分を残し、エッチング面を陽極接合で密閉し、湿度センサとする。【効果】 工程が単純で、大量生産に適したプロセスが使えるため、量産性が良く、信頼性も高く、低電力のヒーターをもった湿度センサが得られる。

請求項（抜粋）：

最表面の絶縁を確保した基板上に一対の電極および電極形状にあった感湿膜を形成し、電極および感湿膜を形成した基板の裏面にヒーター電極が形成されていることを特徴とする湿度センサ。