特許
J-GLOBAL ID：200903096268088833
非球面マイクロレンズアレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339986
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150103
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】光学性能の優れた非球面マイクロレンズアレイ。【構成】平板表面に形成したマスク層に、作製する各レンズの位置とその周りに設けた1個以上の開口部をマスク層に設け、これらの開口部を通して平板表面を部分的に化学エッチングした後、マスク層を取除き、さらに化学的エッチングを施すことにより母型を作製し、該母型から非球面マイクロレンズアレイ成形のための金型を得る。
請求項（抜粋）：
金型のもとになる母型の表面のレンズ形状を化学的エッチング法により形成する、金型成形法によるマイクロレンズアレイの製造方法において、(1)母型となる平板表面に化学的エッチングを妨げるマスク層を形成し、(2)作製する各レンズに対応した微細な円形開口部および該円形開口部をとりまく位置に設けられた1個以上の開口部をマスク層に設け、(3)これらの開口部を通してその平板表面を部分的に化学エッチングし、(4)マスク層を取除き、(5)さらに平板表面全体を化学的エッチングする、という母型作製工程を有することを特徴とする非球面マイクロレンズアレイの製造方法。
IPC (2件)：
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