特許
J-GLOBAL ID：200903096269298629
感熱式流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307269
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159834
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 S/Nの改善を図り、正確な流量測定が可能な感熱式流量計を提供する。【構成】 マイクロブリッジ素子1における梁5の全幅Wbに対する発熱体Rhにより発熱される発熱領域幅Whの発熱領域占有率(=Wh/Wb)を約35%〜50%の範囲内、好ましくは、発熱領域幅Wh=120〜170μmに設定することにより、発熱体Rhの出力-流量曲線を高い線形性に保つようにした。
請求項（抜粋）：
基板をエッチングして形成された堀と、この堀の上部をまたぐように形成された梁と、この梁の中央部に配線された発熱体と、この発熱体に隣接して配線された発熱測温体と、前記梁上の前記発熱体の上流側に配線された上流測温体と、前記梁上の前記発熱体の下流側に配線された下流測温体と、前記梁から離れた位置の前記基板上に配線された室温測温体とを有するマイクロブリッジ素子を備え、このマイクロブリッジ素子の前記発熱体と前記室温測温体とから発熱量に比例して出力された発熱体信号と、前記上流測温体と前記下流測温体とから抵抗による温度差に比例して出力された温度差信号とを用いて流量換算処理を行う感熱式流量計において、前記梁の全幅に対する前記発熱体により発熱される発熱領域幅の発熱領域占有率を約35%〜50%の範囲に設定したことを特徴とする感熱式流量計。
IPC (2件)：
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