特許
J-GLOBAL ID：200903096274407819
バンプ形成法およびバンプ製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204230
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 内部に溶剤やガスが残留しないように完全に追い出して、緻密で電気抵抗の小さい微細な形状のバンプを簡単に形成する方法を提供する。【構成】 基板1の表面の電極パッド2上に金属ペースト成形体14を形成し、基板1の下側からの加熱により金属ペースト成形体14を乾燥させ、そののち基板1をハロゲンランプなどの光などの照射によるRTA装置を用いて金属ペースト成形体14を焼成することによりバンプ14aを形成する。
請求項（抜粋）：
基板に設けられた電極パッドに対応する孔を有するマスクを前記基板上に配設し、該マスク上からスクリーン印刷により金属ペーストを印刷し、前記基板の下側から加熱して、前記金属ペーストを乾燥させ、ついで前記金属ペーストを焼成することを特徴とするバンプ形成法。
IPC (3件)：
H01L 21/321
, H01L 21/60 311
, H05K 3/34
