特許

J-GLOBAL ID：200903096275840095

インクジェットヘッド用圧電素子の作製方法

発明者： 肥田 勝春 ,  近藤 正雄 ,  栗原 和明
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181490
公開番号（公開出願番号）：特開平11-020177
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：

【要約】【課題】 圧電素子を用いたインクジェットプリンタのヘッドに関し、小型、高精彩化を図ることができる圧電素子を用いたインクジェットヘッド用圧電素子の作製方法を提供することを目的とする。【解決手段】 圧電素子を形成するセラミックグリーンシートに帯状の電極ペーストを塗布すると共に、該電極ペーストの両側の前記グリーンシートに該電極ペーストに略平行して、所定間隔おきに連続した複数の穴を形成する工程と、前記グリーンシートを焼成し、該焼成により前記連続した穴の配列方向に該穴を横切るクラックを焼成体に生じさせる工程と、を含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電素子を形成するセラミックグリーンシートに帯状の電極ペーストを塗布すると共に、該電極ペーストの両側の前記グリーンシートに該電極ペーストに略平行して、所定間隔おきに連続した複数の穴を形成する工程と、前記グリーンシートを焼成し、該焼成により前記連続した穴の配列方向に該穴を横切るクラックを焼成体に生じさせる工程と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッド用圧電素子の作製方法。

IPC (4件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z