特許

J-GLOBAL ID：200903096277772917

変位センサ用光導波路基板

発明者： 森 隆
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-284643
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139908
出願日： 1993年11月15日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【構成】 電気光学結晶基板1の表面に、光導波路2a〜2d、方向性結合器3、反射鏡4が形成され、方向性結合器3から反射鏡4へ至る光導波路2dが基板1に対して斜め方向に形成され、かつ、基板1の反射鏡4を形成する端面1aが光導波路2dの方向に対して垂直となる傾斜面である変位センサ用光導波路基板。【効果】 フレネル反射によるノイズ発生を防止し、正確な変位測定を可能とした変位センサに用いる光導波路基板を得る。

請求項（抜粋）：

電気光学結晶基板表面に、光導波路、方向性結合器、及び、反射鏡が形成された変位センサ用光導波路基板であって、該方向性結合器から該反射鏡へ至る該光導波路が該基板に対して斜め方向に形成され、かつ、該基板の該反射鏡を形成する端面が上記斜め方向に対して垂直な面となっていることを特徴とする変位センサ用光導波路基板。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/12

FI (3件)：

G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 D ,  G02B 6/12 J