特許

J-GLOBAL ID：200903096281223880

電子源の放出電流測定方法および装置

発明者： 藤井 明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-040555
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243289
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 電子源の性能評価、および良品不良品判断、および補正駆動等を行う際に必要とされる電子源の放出電流値を正確に測定することを可能とする。【解決手段】複数の冷陰極素子がマトリクス状に配線されてなるマルチ電子源の(m,n)の素子の放出電流を測定するにおいて、S1で高圧電極に加速電圧を印加しながら各行方向及び列方向配線をグランドレベルにし、複数の冷陰極素子から電子が放出しない状態で高圧電極に流れる電流Isを測定し、S2で(m、n)の素子を駆動して高圧電極に流れる電流Ie'を測定する。そして、m行の行方向配線にスペーサが接続されていなければ、S3、S4により、Ie'-Isを放出電流とする。一方、m行の行方向配線にスペーサが接続されていれば、S3〜S6により、高圧電極をグランドレベルにするとともにm行の行方向配線にのみ駆動電圧を印加して高圧電極に流れる電流Isdを測定し、Ie'-Is-Isdを放出電流とする。

請求項（抜粋）：

冷陰極素子が配置されている基板と、該基板に対向して配置され前記冷陰極素子からの放出電子を加速する高圧電極と、前記高圧電極と電気的に接続され前記基板と高圧電極の間に設けられた構造支持体とを備える電子源の放出電流を測定する装置であって、前記高圧電極に加速電圧を印加した状態で、前記冷陰極素子から電子を放出しないまたはきわめて少ない状態で該高圧電極に流れる電流を測定する第1測定手段と、前記高圧電極に前記加速電圧を印加するとともに、前記冷陰極素子から電子を放出した状態で該高圧電極に流れる電流を測定する第2測定手段と、前記第2測定手段で測定された電流から前記第1測定手段で測定された電流を差し引くことにより前記冷陰極素子からの放出電流を算出する算出手段とを備えることを特徴とする電子源の放出電流測定装置。

IPC (3件)：

H01J 9/42 ,  G01R 19/00 ,  G09G 3/22

FI (3件)：

H01J 9/42 B ,  G01R 19/00 Z ,  G09G 3/22 E

Fターム (20件)：

2G035AA01 ,  2G035AB02 ,  2G035AB11 ,  2G035AC02 ,  2G035AC20 ,  2G035AD33 ,  2G035AD45 ,  5C080AA18 ,  5C080BB05 ,  5C080CC03 ,  5C080DD15 ,  5C080EE25 ,  5C080FF09 ,  5C080GG02 ,  5C080JJ01 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ05 ,  5C080JJ06 ,  5C080JJ07