特許
J-GLOBAL ID：200903096294174250
ウェハの加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003783
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211603
出願日： 1982年07月30日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】本発明はウェハの外形部でのチッピングおよびウェハの外形部とウェハ切り欠き部との接合部のチッピングによる異物の発生およびその他の各種不良の発生を防止することのできるウェハの加工方法を提供することにある。【構成】ウェハの外形部と切り欠き部8との接合部をウェハの主面及び主面に対し平行な面内において曲線状となるように面取り加工し、さらに、ウェハの外形部の主面及び裏面を厚さ方向に面取り加工するウェハの加工方法。【効果】ウェハの位置決め用切り欠き部とウェハの外形部との接合部及びウェハの外形部に鋭角的角部または屈曲部が存在しないので、ウェハのチッピングによる異物不良,搬送不良,レジスト膜厚不良の如き、鋭角的角部または屈曲部の存在に起因する不良を著しく低減できる。
請求項（抜粋）：
ウェハの外形部に切り欠き部が存在するように加工されるウェハの加工方法であつて、ウェハの外形部の主面及び裏面を厚さ方向に面取り加工し、さらに前記ウェハの外形部と前記切り欠き部との接合部を前記ウェハの主面及び主面に対し平行な面内において曲線状となるように面取り加工することを特徴とするウェハの加工方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, H01L 21/304 301
