ジッタ測定方法及び半導体試験装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097078
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288653
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】半導体試験装置を用いてデバイスが出力する周波数信号のジッタを測定する測定方法及びジッタ測定装置を実現。【解決手段】所定の基準クロック信号をDUTの基準クロック入力端に供給する試験パターン発生器と、DUT出力端からの出力信号を受けて、手前側から順次後方へストローブ信号を移動させ、各ストローブ移動位置でフェイルカウンタによるフェイルの有無を検出し、これからジッタ前縁のMin位置を求める手段と、DUT出力端からの出力信号を受けて、後方側から順次手前へストローブ信号を移動させ、各ストローブ移動位置でフェイルカウンタによるフェイルの有無を検出し、これからジッタ後縁のMax位置を求める手段。

請求項（抜粋）：

タイミング比較部のストローブ信号、及びフェイルカウンタを使用して、被試験デバイス(DUT)のジッタを測定する半導体試験装置において、所定の基準クロック信号をDUTの基準クロック入力端に供給する該試験パターン発生器と、DUT出力端からの出力信号を受けて、手前側から順次後方へ該ストローブ信号を移動させ、各ストローブ移動位置でフェイルカウンタによるフェイルの有無あるいはパスの有無を検出し、これからジッタ前縁のMin位置を求める手段と、DUT出力端からの出力信号を受けて、後方側から順次手前へ該ストローブ信号を移動させ、各ストローブ移動位置でフェイルカウンタによるフェイルの有無あるいはパスの有無を検出し、これからジッタ後縁のMax位置を求める手段と、以上を具備して求めた両ジッタ位置の差分をジッタ幅として得ることを特徴とした半導体試験装置。

IPC (3件)：

G01R 31/319 , G01R 29/02 , G01R 31/26

FI (3件)：

G01R 31/28 R , G01R 29/02 L , G01R 31/26 G

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