特許

J-GLOBAL ID：200903096299110772

硬脆性材料の切断方法

発明者： 中島 亮
出願人/特許権者： 三菱住友シリコン株式会社
代理人 (1件)： 池条 重信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-066182
公開番号（公開出願番号）：特開2004-001409
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】ウェーハの反り、ナノトポグラフィー及び厚みのばらつきを解消する。【解決手段】インゴットの端面部に当て板を貼り付けるか押圧し、当て板も同時にワイヤーソーにてスライス加工を行うことにより、当て板の部分に相当するウェーハに反り、ナノトポグラフィー及び厚みのばらつきの悪化部分が現れることで、目的とする材料インゴットの端部におけるウェーハの反り、ナノトポグラフィー及び厚みのばらつきを低減することができる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

結晶構造を有する柱状硬脆性材料の長手方向及び周方向の結晶方位を測定する工程、該材料の軸方向の外周面に治具板を固着する工程、該材料の結晶面の傾き角度を設定する工程、該材料端面の一方又は両方に当て板を接着又は押圧する工程、前記治具に固着して拘束していない外周面からワイヤーソーを相対的に前記治具側に移動させて当て板と共に多数の円板状ウェーハにスライスする工程、を有する硬脆性材料の切断方法。

IPC (3件)：

B28D5/04 ,  B24B27/06 ,  H01L21/304

FI (3件)：

B28D5/04 C ,  B24B27/06 F ,  H01L21/304 611W

Fターム (16件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB03 ,  3C069BB04 ,  3C069BC01 ,  3C069CA04 ,  3C069CA11 ,  3C069CB02 ,  3C069EA02 ,  3C069EA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-152765
  
• ウエーハの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-130527   出願人：株式会社日平トヤマ
• 特開平2-152765