特許

J-GLOBAL ID：200903096307159026

ガラス基板移動台車

発明者： 里井 庸修
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113088
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313870
出願日： 2001年04月11日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】 個別にガラス基板供給装置を配備することなくガラス基板供給システムを簡略化するとともに、スペースの節約が図れるガラス基板移動台車を提供する。【解決手段】 ガラス基板移動台車は、ガラス基板が収納されるカセットの位置決めをするカセット位置決め機構と、ガラス基板が載置されるハンド部を有する多関節ロボットと、前記ガラス基板を受け渡しする処理装置に対し位置決めをするための第1概略位置決め手段と、前記カセットを受け渡しする他の装置に対して位置決めをするための第2概略位置決め手段とを備える。さらに、台車は、前記ガラス基板を受け渡しする処理装置と情報のやり取りができる機構及び前記ガラス基板を受け渡しする処理装置との位置関係を測定する測定手段を備える。

請求項（抜粋）：

ガラス基板が収納されるカセットの位置決めをするカセット位置決め機構と、ガラス基板が載置されるハンド部を有する多関節ロボットと、前記ガラス基板を受け渡しする処理装置に対し位置決めをするための第1概略位置決め手段と、前記カセットを受け渡しする他の装置に対して位置決めをするための第2概略位置決め手段と、を備えることを特徴とするガラス基板移動台車。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 5/00 ,  B25J 13/08 ,  B62B 3/00 ,  B65G 49/06

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 V ,  B25J 5/00 A ,  B25J 13/08 A ,  B65G 49/06 Z ,  B62B 3/00 D

Fターム (43件)：

3C007AS24 ,  3C007CS08 ,  3C007CS10 ,  3C007CY11 ,  3C007KS03 ,  3C007KS04 ,  3C007KS05 ,  3C007KT02 ,  3C007KT09 ,  3C007KX02 ,  3C007LT12 ,  3C007NS21 ,  3D050AA11 ,  3D050BB09 ,  3D050BB21 ,  3D050DD01 ,  3D050EE15 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA16 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA57 ,  5F031GA58 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA21 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031JA49 ,  5F031KA10 ,  5F031KA20 ,  5F031NA03