特許
J-GLOBAL ID：200903096308871544
光リソグラフィー用蛍石
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134720
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005801
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 蛍石をステッパー等の光リソグラフィー用の光学部材として用いたときに充分な結像性能が得られるような蛍石を提供する。【構成】 350nm以下の特定波長帯域で使用される光リソグラフィー用蛍石において、屈折率差Δnが5×10-6以下とすることにより、光学系を組み立てたときの波面収差を小さくすることが可能となる。
請求項（抜粋）：
350nm以下の特定波長帯域で使用される光リソグラフィー用蛍石において、屈折率差Δnが5×10-6以下であることを特徴とする光リソグラフィー用蛍石。
IPC (2件)：
G02B 1/02
, G03F 7/20 521
