特許

J-GLOBAL ID：200903096310357238

表面形状測定方法

発明者： 清水 晃 ,  牧野 洋
出願人/特許権者： ぺんてる株式会社 ,  牧野 洋
代理人 (1件)： 伊東 貞雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315753
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099641
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、接触式プローブの中心座標を計測するのと同時にプローブ外周の3点以上の表面座標を即座に読み取り接触点近傍の面法線を即座に求めることを目的としている。【解決手段】 接触式座標測定用プローブに3つ以上の非接触式変位計をプローブの軸に対して同心円上に取り付け、プローブ先端の周囲3点以上の座標値を計測するようにし、接触式プローブの中心座標を計測するのと同時にプローブの周囲3点以上の表面座標を読み取ることで接触点付近の面法線を求め、プローブ半径分オフセットして接触点の座標を即座に求める如くした表面形状測定方法。

請求項（抜粋）：

接触式座標測定用プローブに3つ以上の非接触式変位計をプローブの軸に対して同心円上に取り付け、プローブ先端の周囲3点以上の座標値を計測するようにし、接触式プローブの中心座標を計測するのと同時にプローブの周囲3点以上の表面座標を読み取ることで接触点付近の面法線を求め、プローブ半径分オフセットして接触点の座標を即座に求める如くした表面形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 21/00

FI (2件)：

G01B 21/20 101 Z ,  G01B 21/00 E

Fターム (15件)：

2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069DD15 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG35 ,  2F069GG58 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069GG64 ,  2F069HH01 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ00 ,  2F069LL02 ,  2F069NN00