特許

J-GLOBAL ID：200903096314883970

4-ヒドロキシスチレンとアルキル置換-4-ヒドロキシスチレンとの共重合体

発明者： リチャード バイキャリー ,  ダクラス ジェイ ゴードン ,  ウィリアム ディ ヒンズバーグ ザ サード ,  デニス アール マッキャン ,  カールトン ジー ウイルソン
出願人/特許権者： ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション ,  インターナショナル ビジネス マシーンズ コーポレーション
代理人 (1件)： 斉藤 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-194485
公開番号（公開出願番号）：特開平7-070241
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】 ホトレジスト用の結合剤等として有用な新規スチレン系共重合体を提供する。【構成】 (a)置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と、(b)式:但し、A、B、C及びDは独立してH又はC1乃至C3アルキルであり而してA、B、C及びDの少なくとも1がC1乃至C3アルキルである置換4-ヒドロキシスチレン単量体との共重合体であって;該共重合体が約800乃至約100,000の分子量を有しており;且つ単量体(a)の単量体(b)に対するモル比が約3:1乃至約1:3の範囲である置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と置換4-ヒドロキシスチレンとの共重合体。

請求項（抜粋）：

(a)置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と、(b)式:【化1】但し、A、B、C及びDは独立してH又はC1乃至C3アルキルであり而してA、B、C及びDの少なくとも1がC1乃至C3アルキルである置換4-ヒドロキシスチレン単量体との共重合体であって;該共重合体が約800乃至約100,000の分子量を有しており;且つ単量体(a)の単量体(b)に対するモル比が約3:1乃至約1:3の範囲である置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と置換4-ヒドロキシスチレンとの共重合体。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-154266