特許

J-GLOBAL ID：200903096317080878

変移の測定方法および測定装置

発明者： 福井 厚司 ,  加藤 誠 ,  西井 完治 ,  伊藤 正弥 ,  冨士川 恵市
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060759
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181009
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：

【要約】【目的】 信号変調度特性を向上し、精度の高い位置検出を可能とする。【構成】 波長λでビーム径Dの平行光を、光の光軸に対して略垂直でかつ距離gを隔てて互いに平行に設けられており主要回折成分が±1次であるピッチpの回折格子を有する固定回折板13及び移動回折板14に入射し、光軸と平行な回折光を入射瞳径がD-2gλ/p以内に制限された集光レンズ15により集光し、その光量を受光部16で検出する。

請求項（抜粋）：

波長λでビーム径Dの平行光を、光の光軸に対して略垂直でかつ距離gを隔てて互いに平行に設けられており主要回折成分が±1次であるピッチpの回折格子を有する固定回折板及び移動回折板に入射し、光軸と平行な回折光を入射瞳径がD-2gλ/p以内に制限された集光レンズにより集光し、その光量を検出することにより前記移動回折板の変移を検出することを特徴とする変移の測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G01D 5/38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-344412
  
• 特開平4-130220
  
• 特開平2-031111
  
• 特開昭61-065115