特許

J-GLOBAL ID：200903096320147673

複合型光学薄膜の製造方法とその製造装置

発明者： 平賀 隆 ,  守谷 哲郎 ,  田中 教雄
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  大日精化工業株式会社 ,  新技術事業団
代理人 (2件)： 西澤 利夫 (外1名) ,  西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-066707
公開番号（公開出願番号）：特開平7-252671
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【構成】2成分以上の有機系光学材料を溶液または分散液状態で各成分毎に設けた噴霧ノズルから高真空容器内に噴霧して基板上に堆積させ、加熱処理する。【効果】この発明によって、有機系光材料の分解温度よりもはるかに低い温度において高品質で高機能な複合型光学薄膜の製造が可能となる。また、この発明によって、2成分以上の有機系光材料から成る複合型光学薄膜において、マイクロメートル未満の微細領域で構造が制御された複合型光学薄膜の製造が可能になり、またさらに、2成分以上の有機系光材料から成る複合型光学薄膜において、その深さ方向に成分の濃度を任意に変化させたものの製造が可能となる。そして、この発明の光学薄膜の製造方法に使用される有機系光材料は、加熱および/または加圧により成形することが可能なものであれば任意のものを使用することができ、さらに、2成分以上の有機系光材料の成分毎に最適な溶媒を選択することができ、この発明は、複合型光学材料を開発、改良する上で、極めて有用なものである。

請求項（抜粋）：

2成分以上の有機系光学材料を溶液または分散液状態で各成分毎に設けた噴霧ノズルから高真空容器内に噴霧して基板上に堆積させ、加熱処理することを特徴とする複合型光学薄膜の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 26/00 ,  C23C 14/12