特許
J-GLOBAL ID：200903096323655637
マイクロポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥井 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-185793
公開番号（公開出願番号）：特開2004-353638
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【目的】小形で振動特性にばらつきのない、振動板の振動量を大きくすることなくポンプ吐出口から充分な流量をもってガスを効率良く噴出させることができる、ポンプ性能の安定したマイクロポンプを容易に製造できるようにする。【構成】ポンプ吐出口が設けられた下側基板と、通気孔があけられた電磁気的な振動子によって振動する第1の振動板が形成された中間基板と、電磁気的な振動子によって振動する第2の振動板が形成された上側基板とを、それぞれの振動板を支持する基部において順次積み重ねて接合することによって、下側基板と中間基板との間で吸気口を有する吸排気室が形成され、中間基板と上側基板との間で背圧室が形成されるように構成し、第1および第2の各振動板を、その振動方向が相反するように振動させるようにしたことを特徴とするマイクロポンプ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ポンプ吐出口が設けられた下側基板と、通気孔があけられた電磁気的な振動子によって振動する第1の振動板が形成された中間基板と、電磁気的な振動子によって振動する第2の振動板が形成された上側基板とを、それぞれの振動板を支持する基部において順次積み重ねて接合することによって、下側基板と中間基板との間で吸気口を有する吸排気室が形成され、中間基板と上側基板との間で背圧室が形成されるように構成し、第1および第2の各振動板を、その振動方向が相反するように振動させるようにしたことを特徴とするマイクロポンプ。
IPC (4件)：
F04B45/047
, B81B3/00
, H01L41/08
, H01L41/09
F04B45/04 103A
, B81B3/00
, H01L41/08 U
, H01L41/08 J
, H01L41/08 D
3H077AA08
, 3H077CC02
, 3H077CC12
, 3H077CC17
, 3H077DD05
, 3H077EE02
, 3H077EE15
, 3H077FF04
, 3H077FF06
, 3H077FF22
, 3H077FF32
