特許
J-GLOBAL ID：200903096327023996
表面状態測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-172595
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152437
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】測定対象物の表面状態の測定において、探針と測定対象物が接触したときに負帰還動作により探針および/または測定対処物が損傷するのを防止する。【解決手段】探針12を保持する導電性のカンチレバー10の背面側に背面電極40を設け、カンチレバーに直流と交流の電圧を印加し、背面電極に上記直流電圧を印加して、カンチレバーを振動させる。背面電極40の形状と配備態位を調整することにより、探針が測定対象物0の表面に近づいたとき、カンチレバーの振動振幅が単調減少的に小さくなるようにし、振動振幅が小さくなったときは、探針が測定対象物表面から離れるようにアクチュエータ38を動作させる。
請求項（抜粋）：
測定対象物の表面における電位:Vsおよび/または表面形状を表面状態として測定する装置であって、導電性の板バネと、この板バネに、測定対象物の表面に対向するように保持され、上記測定対象物の表面と間隔:Z<SB>1</SB>を隔し、対向面積:S<SB>1</SB>をもって対向する探針と、上記板バネに関し測定対象物の表面と逆の側に設けられ、上記板バネよりも高い剛性を有し、上記板バネとともに対向面積:S<SB>2</SB>で間隔:Z<SB>2</SB>のコンデンサを構成する背面電極と、上記板バネを介して上記探針に、所定の交流電圧と直流電圧:Vbを重畳して印加し、上記背面電極に上記直流電圧:Vbを印加する電圧印加手段と、上記探針により測定対象物を走査する走査手段と、上記板バネの振動を検知する振動検知手段と、この振動検知手段の出力から、表面電位:Vsと直流電圧:Vbとに応じた第1電圧と、測定対象物の表面形状および上記間隔:Z<SB>1</SB>に応じた第2電圧とを分離して得る電圧分離手段と、上記第1電圧を0とするように、上記直流電圧:Vbを制御する電圧制御手段と、上記第2電圧に比例する出力を出力する電圧出力手段と、この電圧出力手段の出力により、上記探針先端と測定対象物との間隔:Z<SB>1</SB>を所定の間隔:Z<SB>0</SB>に調整するアクチュエータ手段とを有し、上記対向面積:S<SB>1</SB>と間隔:Z<SB>0</SB>に対し、上記対向面積:S<SB>2</SB>と間隔:Z<SB>2</SB>とが、条件:(S<SB>1</SB>/Z<SB>0</SB><SP>2</SP>)-(S<SB>2</SB>/Z<SB>2</SB><SP>2</SP>)<0を満足するように、上記背面電極の形状および配備態位を定めたことを特徴とする表面状態測定装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01R 29/12
G01N 37/00 H
, G01B 7/34 Z
, G01R 29/12 F
