オートフォーカス装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124582
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304685
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】被測定物の材質に制約されることなく、あらゆる材質の被測定物に対してもフォーカスを合わせることができるオートフォーカス装置を提供する。【解決手段】被測定物の測定面に光を集光させる対物レンズ14と、この対物レンズ14から出射された光に基づく被測定物の像を観察可能なCCDカメラ24と、このCCDカメラ24で得られた被測定物の像のコントラストに基づいて対物レンズ14をその光軸方向へ変位させるアクチュエータ15とを備えたオートフォーカス装置において、照明装置25、投影レンズ21および所定のパターンが表示される液晶板22を含み、被測定物の測定面に所定パターンを投影するパターン投影手段20を設ける。

請求項（抜粋）：

被測定物の測定面に光を集光させる対物レンズと、この対物レンズから出射された光に基づく被測定物の像を観察可能な観察光学系と、この観察光学系で得られた被測定物の像のコントラストに基づいて前記対物レンズをその光軸方向へ変位させる駆動機構とを備えたオートフォーカス装置において、前記被測定物の測定面に所定パターンを投影するパターン投影手段を設けたことを特徴とするオートフォーカス装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 , G02B 7/36 , G03B 13/36 , H04N 5/232

FI (4件)：

G02B 7/11 J , H04N 5/232 A , G02B 7/11 D , G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-260013
特開平3-223831
特開平3-046606

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