特許
J-GLOBAL ID:200903096335288370
光偏向素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-306378
公開番号(公開出願番号):特開2002-116402
出願日: 2000年10月05日
公開日(公表日): 2002年04月19日
要約:
【要約】【課題】 製造が容易で反りの少ない光偏向素子を提供する。【解決手段】一つの基板面内に形成され、複数の互いに運動方向の異なるばね部と、このばね部に支持され、互いに拘束されない運動をしうる互いに直交する軸を支点として二次元の回転運動をする二つの可動部と、可動部に形成される反射鏡と、二つの可動部上に導電コイルパターンを形成して構成される光偏向素子において、一つの可動部に形成される導電コイルパターンと他の可動部に形成される導電コイルパターンは基板面の表裏に分けて形成する光偏向素子とする。
請求項(抜粋):
一つの基板面内に形成され、複数の互いに運動方向の異なるばね部と、このばね部に支持され、互いに拘束されない運動をしうる互いに直交する軸を支点として二次元の回転運動をする二つの可動部と、可動部に形成される反射鏡と、二つの可動部上に導電コイルパターンを形成して構成される光偏向素子において、一つの可動部に形成される導電コイルパターンと他の可動部に形成される導電コイルパターンは基板面の表裏に分けて形成されることを特徴とする光偏向素子。
IPC (3件):
G02B 26/10 104
, B81B 3/00
, G02B 26/08
FI (3件):
G02B 26/10 104 Z
, B81B 3/00
, G02B 26/08 E
Fターム (9件):
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
, 2H045AB13
, 2H045AB16
, 2H045AB62
, 2H045AB73
引用特許:
出願人引用 (6件)
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特開昭60-107017
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光偏向器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-034967
出願人:日本ビクター株式会社
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特開昭63-197911
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