特許
J-GLOBAL ID:200903096336545881

電子スペクトル測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章 ,  今村 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-336581
公開番号(公開出願番号):特開2006-145406
出願日: 2004年11月19日
公開日(公表日): 2006年06月08日
要約:
【課題】界面のおける電子スペクトルを精度良く評価するとともに、検出作業におけるスループットを向上させる。【解決手段】 分光測定装置は、周波数ω1の挟帯域なフェムト秒可視・近赤外光の発光と、周波数ω2が広帯域な可視・近赤外パルス光L2は、白色光を540nm以下の短波長側をカットするフィルターにより得る。周波数ω1の狭帯域なパルス光L1と540nmから1.1μmの範囲に広がる周波数ω2の広帯域な可視・近赤外パルス光L2とを、試料1の気/液界面1aの同一点に非同軸的に集光する。両光L1、L2が、界面1aにおいて、時間的・空間的に一致したとき、和周波ω1+ω2の信号光L4が発生する。信号光L4はポリクロメーター5に導かれる。ポリクロメーター5は、回折格子を1枚有する、分光器内の凹面鏡の焦点距離300mm、回折格子の刻線数300本/mmブレーズに導かれて波長分散され、CCD7によって検出される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
2次非線形電子スペクトル測定装置であって、 狭帯域近赤外パルス光である第1のパルス光と、広帯域可視・近赤外パルス光である第2のパルス光とを、前記試料界面のある点に非同軸的に集光させるパルス光集光手段と、 該パルス光集光手段により集光され界面において得られる前記第1のパルス光と前記第2のパルス光との広帯域和周波信号を波長分散し多波長同時検出するマルチチャネル検出手段と を有することを特徴とする電子スペクトル測定装置。
IPC (1件):
G01N 21/27
FI (1件):
G01N21/27 H
Fターム (10件):
2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059KK04
引用特許:
出願人引用 (2件)
引用文献:
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