特許
J-GLOBAL ID:200903096337026128

顕微鏡対物レンズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 孝雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-329523
公開番号(公開出願番号):特開2000-155267
出願日: 1998年11月19日
公開日(公表日): 2000年06月06日
要約:
【要約】【課題】 倍率が100倍程度で、開口数が0.9程度の大口径で、248nmの波長光のみならず、193nmや157nmの短波長の紫外光でも利用することのできる顕微鏡対物レンズ。【解決手段】 全体として負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、該第1レンズ群G1よりも物体側に配置され全体として正の屈折力を有する第2レンズ群G2とを備えている。第1レンズ群G1および第2レンズ群G2を構成するすべてのレンズ成分の各々は、互いに空気間隔を隔てて配置された単レンズである。所定の条件式(1)および(2)を満足する。
請求項(抜粋):
全体として負の屈折力を有する第1レンズ群と、該第1レンズ群よりも物体側に配置され全体として正の屈折力を有する第2レンズ群とを備えた顕微鏡対物レンズにおいて、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群を構成するすべてのレンズ成分の各々は、互いに空気間隔を隔てて配置された単レンズであり、前記第1レンズ群の焦点距離をf1とし、前記顕微鏡対物レンズの全体の焦点距離をfとし、前記顕微鏡対物レンズを構成するすべてのレンズ成分のうちの負レンズ成分の数をNとするとき、-11<f1/f<-4.51≦N≦3の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
Fターム (25件):
2H087KA09 ,  2H087LA01 ,  2H087LA03 ,  2H087NA04 ,  2H087PA08 ,  2H087PA09 ,  2H087PA10 ,  2H087PA12 ,  2H087PA17 ,  2H087PB08 ,  2H087PB09 ,  2H087PB10 ,  2H087PB12 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA12 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA39 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04

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