特許

J-GLOBAL ID：200903096343799260

温度無依存光導波路およびその製造方法

発明者： 海老澤 文博 ,  吉田 卓史 ,  有島 功一 ,  星野 光利 ,  横山 健児 ,  助川 健 ,  岡本 勝就
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029465
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227930
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 従って、本発明の目的は、温度制御装置を必要としない信頼性の高い温度無依存光導波路およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 シリコン基板1上に下部クラッド2を設け、この下部クラッド2上にコア3,3をアーム状に設け、これらのコア3,3を上部側クラッド4で覆い、一方のアーム導波路のコア3をその長さ方向の一部分において上部クラッド4をエッチングにより削って溝を形成し、露出したコア3の上面に上側部クラッドの上面に達するまで充填材5を設け、充填材5の上面にアルミニウム蒸着膜11を設ける。コア3,3の両端部は、同じく基板上に設けられた入射ポート9と出射ポート10に3dBカップラを介してそれぞれ接続している。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された石英系のコア、クラッド構造を有する完全埋め込み型光導波路において、前記クラッドの少なくとも一部に、前記コアに接するように配された負の屈折率温度係数を有する物質を設けたことを特徴とする温度無依存光導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  C08L101/12

FI (2件)：

G02B 6/12 N ,  C08L101/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• マッハツェンダ光回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-140648   出願人：日立電線株式会社
• 特開平4-238305
  
• 特開平4-238305