特許
J-GLOBAL ID:200903096347014047
表面プラズモンセンサ-
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-021003
公開番号(公開出願番号):特開2000-019104
出願日: 1999年01月29日
公開日(公表日): 2000年01月21日
要約:
【要約】【課題】 Otto型の表面プラズモンセンサーにおいて、誘電体ブロックの一面と金属膜との間の距離を常に一定に保って、精密な測定を可能にする。【解決手段】 誘電体ブロック10と、その一面10aと間隔を置いて対面するように配置された金属膜12と、光源14からの光ビーム13を上記一面10aに全反射角を含む種々の入射角が得られるように入射させる光学系15と、上記一面10aで全反射する光ビーム13において、全反射解消による光量低下が生じる入射角を検出する手段16とを備えてなる表面プラズモンセンサーにおいて、金属膜12が吸収する波長の距離測定用光ビーム20を上記一面10aに全反射入射させる距離測定用光源21と、誘電体ブロック10と金属膜12とを互いの間隔が変化する方向に相対移動させる移動手段22と、上記一面10aで全反射した距離測定用光ビーム20の光量を検出する光検出手段24と、その検出光量が一定化するように移動手段22の駆動を制御する制御手段26とを設ける。
請求項(抜粋):
誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面と間隔を置いて対面するように配置されて、誘電体ブロック側の表面上に試料が載置される金属膜と、光ビームを発生させる光源と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに導入し、該誘電体ブロックの前記一面で全反射条件となり、かつ、表面プラズモンの発生条件を含む種々の入射角が得られるように入射させる光学系と、前記誘電体ブロックの一面で全反射する光ビームにおいて、全反射解消による光量低下が生じる前記入射角を検出する手段とを備えてなる表面プラズモンセンサーにおいて、前記金属膜が吸収する波長の距離測定用光ビームを、前記誘電体ブロックの一面において全反射するように該誘電体ブロックに入射させる距離測定用光源と、前記誘電体ブロックと金属膜とを、該誘電体ブロックの前記一面と金属膜との間隔が変化する方向に相対移動させる移動手段と、前記誘電体ブロックの一面で全反射した距離測定用光ビームの光量を検出する光検出手段と、この光検出手段が検出する光量が一定化するように前記移動手段の駆動を制御する制御手段とが設けられたことを特徴とする表面プラズモンセンサー。
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