特許

J-GLOBAL ID：200903096349870323

水晶片の製造方法

発明者： 白石 英也
出願人/特許権者： 株式会社明電舎
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157412
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349048
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 水晶片を効率良く安価にかつ品質良く製造する。【解決手段】 人工水晶1を水晶片4の主面4aとなる表面1aを含んで整形する工程と、この整形された人工水晶1をダイシングソー5により表面1aと平行に切断してウエハ3を形成する工程と、ウエハ3の水晶片4の主面4aとなる表面3aを固定砥粒により精密研削する工程と、ウエハ3をダイシングソー5によりその表面3aと直角方向に切断小割して短冊状の水晶片4を形成する工程を備える。

請求項（抜粋）：

水晶原石を水晶片の主面となる表面を含んで整形する工程と、この整形された水晶原石をダイシングソーにより水晶片の主面となる表面と平行に切断してウエハを形成する工程と、ウエハの水晶片の主面となる表面を固定砥粒により精密研削する工程と、ウエハをダイシングソーによりその水晶片の主面となる表面と直角方向に切断小割して短冊状の水晶片を形成する工程を備えたことを特徴とする水晶片の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  B28D 5/00 ,  H03H 3/02

FI (3件)：

H01L 21/78 Q ,  B28D 5/00 Z ,  H03H 3/02 B

Fターム (12件)：

3C069AA01 ,  3C069BA04 ,  3C069BB04 ,  3C069BC01 ,  3C069BC04 ,  3C069CA02 ,  3C069CB01 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108MM08