特許
J-GLOBAL ID：200903096350572395
感光性ガラスの加工方法及びこの方法によつて製造したインクジエツトヘツド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239783
公開番号（公開出願番号）：特開平5-078146
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 感光性ガラス板の表裏両面の異なる位置に溝を容易に形成し、この方法により高精度のインクジェットヘッドを安価に提供する。【構成】 A工程で感光性ガラス板1の端面1aに対向して、感光性ガラス板の板厚を2分するように露光パターン2aと遮光部2bとを形成したフォトマスク2を配置し、露光し、感光性ガラス板の板厚方向中間部に露光部を形成し、B工程で露光部を熱処理して光遮断層11を形成する。C工程で感光性ガラス板の表面1bに対向して、感光性ガラス板の表面に形成する溝4の露光パターン3aと遮光部3bとを形成したフォトマスク3を配置し、露光し、溝の露光部を形成する。この時光は光遮断層11で遮断され、裏面側を露光することはない。そこで裏面側を露光して裏面1cに溝の露光部を形成する。D工程で露光部を熱処理して結晶部12を形成し、F工程で結晶部を所望の深さまでエッチングしてインク流路となる溝4を形成する。
請求項（抜粋）：
感光性ガラス板の表裏両面に溝をエッチングにより形成する加工方法であって、上記感光性ガラス板の端面側からその板厚を2分するように露光して光遮断層用露光部を形成し、上記光遮断層用露光部を熱処理して上記感光性ガラス板の板厚方向中間部に光遮断層を形成し、その後で上記感光性ガラス板の表面および裏面側から露光して溝用露光部を形成し、上記表裏両面の溝用露光部を熱処理して結晶部を形成し、上記結晶部をエッチングすることを特徴とする感光性ガラスの加工方法。
IPC (3件)：
C03C 4/04
, B41J 2/16
, C03C 15/00
