特許
J-GLOBAL ID：200903096361535505
観測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋川 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-060667
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242002
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】 対物レンズを通さずに大きな入射角で観測対象を照明する場合において、コントラストの高い最適な照明を得る。【解決手段】 発光部19からの光を対物レンズ11を通さずに観測対象3aに照射し、観測対象3aからの反射光を受光部で受光して観測対象3aを観測する。発光部19は第1の発光体41と第2の発光体42とを有し、各発光体の光軸e,fは同一平面上またはその近傍に配置されている。第1の発光体の光軸eは観測対象3aの配列方向dに対してほぼ垂直に配置され、第2の発光体42の光軸fは観測対象3aの配列方向dに対して角β(=45 ゚)で傾斜している。
請求項（抜粋）：
発光部からの光を対物レンズを通さずに観測対象に照射し、前記観測対象からの反射光を受光部で受光して前記観測対象を観測する観測装置において、前記発光部は複数の発光体から成る第1発光部を備え、第1発光部は、その照明が暗視野照明となるように配置されるとともに、各発光体の光軸は、前記観測対象の配列方向を一辺とする、光学的な同一平面内またはその近傍に配置され、各光軸の前記観測対象を含む平面に対する射影が前記観測対象の配列方向に対してほぼ同一方向に傾斜していることを特徴とする観測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/02 A
