特許

J-GLOBAL ID：200903096361926520

連続式プラズマ熱処理炉

発明者： 山本 雅俊
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 乾 昌雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-238895
公開番号（公開出願番号）：特開平6-057403
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】 生産性がすぐれ、装置の寿命が長く保守の手間も少なくて済む連続式プラズマ熱処理炉を提供する。【構成】 真空ポンプに接続された炉殻7内に陽極11と陰極21と処理品加熱用のヒ-タ13と処理ガス供給用のガスマニホ-ルド14とをそなえたプラズマ熱処理室3の出口側に、真空ポンプに接続された炉殻7内に処理品加熱用のヒ-タ33をそなえた拡散室4Aおよび4Bを連設し、この拡散室4Bの出口側に冷却室5を連設し、プラズマ熱処理室3の入口3a部から冷却室5の出口5b部にかけて、処理品搬送用のハ-スロ-ル6を設けた。

請求項（抜粋）：

真空ポンプに接続された炉殻内に陽極と陰極と処理品加熱用のヒ-タと処理ガス供給用のマニホ-ルドとをそなえたプラズマ熱処理室の出口側に、真空ポンプに接続された炉殻内に処理品加熱用のヒ-タをそなえた拡散室を連設し、この拡散室の出口側に冷却室を連設し、前記プラズマ熱処理室の入口部から前記冷却室の出口部にかけて処理品搬送用の搬送装置を設けて成る連続式プラズマ熱処理炉であつて、前記プラズマ熱処理室と前記拡散室の少なくとも一方を、炉長方向に複数室連設したことを特徴とする連続式プラズマ熱処理炉。