マトリクスアレイ基板の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-084985
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289857
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】製造コストの低減を図り、開口率の低下を招くことなく、信頼性が向上した液晶表示装置のアレイ基板の製造方法を提供することにある。【解決手段】基板10上に走査線14を形成し、走査線に重ねて第1絶縁膜32、第2絶縁膜34、半導体膜36、および金属膜を堆積する。上記金属薄膜、半導体膜、および第2絶縁膜を同一パターンに基づいて第1絶縁膜が露出するまでパターニングして信号線、ソース電極及びドレイン電極を形成する。走査線、ソース電極、ドレイン電極、及び信号線を覆う第3絶縁膜を堆積し、ソース電極上の第3絶縁膜にコンタクトホールを形成する。更に、コンタクトホールを介してソース電極に電気的に接続される画素電極28を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に配置された走査線と、上記走査線に重ねて上記基板上に積層配置された第1絶縁膜および第2絶縁膜と、上記第2絶縁膜上に配置された半導体膜と、上記半導体膜に電気的に接続されたソース電極およびドレイン電極と、上記ソース電極およびドレイン電極と上記半導体膜との間に介挿された低抵抗半導体膜と、を含んだ薄膜トランジスタと、上記ドレイン電極から導出し上記走査線と略直交して延びた信号線と、上記走査線、ソース電極、ドレイン電極、及び信号線を覆った第3絶縁膜と、上記第3絶縁膜上に配置され、上記ソース電極と電気的に接続された画素電極と、を備えたマトリクスアレイ基板の製造方法において、上記基板上に走査線を形成する工程と、上記基板上に、上記走査線に重ねて上記第1絶縁膜、第2絶縁膜、半導体膜、および金属膜を堆積する工程と、上記金属薄膜、上記半導体膜、および上記第2絶縁膜を同一パターンに基づいて上記第1絶縁膜が露出するまでパターニングして上記信号線、上記ソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、上記走査線、ソース電極、ドレイン電極、及び信号線を覆う第3絶縁膜を堆積する工程と、上記ソース電極上の上記第3絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、上記コンタクトホールを介して上記ソース電極に電気的に接続される画素電極を形成する工程と、を備えたことを特徴とするマトリクスアレイ基板の製造方法。

IPC (8件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/28 , H01L 21/3065 , H01L 21/3213 , H01L 21/768

FI (8件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/28 F , H01L 29/78 612 D , H01L 21/302 J , H01L 21/88 D , H01L 21/90 C , H01L 29/78 627 C

Fターム (153件)：

2H092GA59 , 2H092JA26 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA46 , 2H092JB01 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB61 , 2H092KA05 , 2H092KA19 , 2H092KB05 , 2H092KB14 , 2H092KB24 , 2H092MA15 , 2H092MA18 , 2H092NA07 , 2H092NA28 , 4M104AA01 , 4M104AA09 , 4M104AA10 , 4M104BB01 , 4M104BB16 , 4M104BB18 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD09 , 4M104DD17 , 4M104DD22 , 4M104DD37 , 4M104DD43 , 4M104DD64 , 4M104DD65 , 4M104DD67 , 4M104EE08 , 4M104EE17 , 4M104FF13 , 4M104FF17 , 4M104FF30 , 4M104GG20 , 4M104HH20 , 5C094AA10 , 5C094AA31 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB02 , 5C094FB04 , 5C094FB05 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F004AA05 , 5F004DA18 , 5F004DA22 , 5F004DA29 , 5F004DB02 , 5F004DB03 , 5F004DB07 , 5F004EA23 , 5F004EB02 , 5F033GG04 , 5F033HH04 , 5F033HH05 , 5F033HH08 , 5F033HH20 , 5F033HH22 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ04 , 5F033JJ05 , 5F033JJ08 , 5F033JJ20 , 5F033JJ38 , 5F033KK01 , 5F033KK04 , 5F033KK05 , 5F033KK08 , 5F033KK20 , 5F033KK22 , 5F033LL04 , 5F033MM08 , 5F033PP06 , 5F033PP15 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ10 , 5F033QQ12 , 5F033QQ15 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ92 , 5F033QQ98 , 5F033RR06 , 5F033SS11 , 5F033VV07 , 5F033VV15 , 5F033XX33 , 5F033XX34 , 5F110AA16 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110BB02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110EE06 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF29 , 5F110FF40 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG44 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK14 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110HK41 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN16 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ01 , 5F110QQ04 , 5F110QQ05 , 5F110QQ09 , 5F110QQ12

前のページに戻る