特許

J-GLOBAL ID：200903096369285699

表面活性化剤および選択されたルテニウム錯体を用いるルテニウム含有フィルムの原子層蒸着

発明者： トンプソン,ジエフリー・スコツト
出願人/特許権者： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (3件)： 結田 純次 ,  竹林 則幸 ,  高木 千嘉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-526108
公開番号（公開出願番号）：特表2009-504913
出願日： 2006年08月07日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

本発明は表面活性化剤を用いる原子層蒸着(ALD)法において表面上にルテニウム含有フィルムを形成させる方法およびこれらの方法においてルテニウム前駆体として使用できるルテニウム錯体に関する。

請求項（抜粋）：

基材の表面上に酸化物を含まないルテニウム含有フィルムを蒸着させる方法であって、 a.表面を表面活性化剤にさらして表面上に表面活性化錯体の蒸着物を形成させる工程と、 b.表面活性化錯体の蒸着物をルテニウム前駆体にさらして表面上に蒸着させたルテニウム錯体を形成させる工程と、 c.蒸着させたルテニウム錯体を還元剤と反応させて、表面上にルテニウム含有フィルムを形成させる工程と を含んでなる方法。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/28

FI (3件)：

C23C16/44 A ,  H01L21/285 C ,  H01L21/28 301R

Fターム (27件)：

4H006AA03 ,  4H006AB78 ,  4H050AA03 ,  4H050AB78 ,  4H050WB13 ,  4H050WB14 ,  4H050WB21 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030AA17 ,  4K030AA24 ,  4K030BA01 ,  4K030CA02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA07 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030LA15 ,  4M104BB04 ,  4M104DD22 ,  4M104DD45 ,  4M104DD86 ,  4M104HH05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 米国特許第6,617,248号明細書
  
• 国際公開第2004/035858号パンフレット
  
• 米国特許第6,824,816号明細書
  
• 米国特許出願公開第2004/0092096号明細書