特許
J-GLOBAL ID：200903096372341834
気相エッチング方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107196
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061199
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】弗化水素ガスによる二酸化珪素膜の気相エッチングにおいて、反応雰囲気や二酸化珪素膜表面上の水分量のバラツキによってエッチング特性が異なることを防ぎ、良好な再現性を得る。【構成】水蒸気生成槽において、温度制御した循環水14で槽内温度を一定にして水蒸気ガスに含まれる水分量を一定にする。こうした水分量を制御したガスを用いて、更にエッチングチャンバー2の排気口にガス中水分測定計11を設置して、水分量をモニターし、一定の水分量に達した時に、エッチングを開始する。これにより、様々な環境下で、様々な履歴を持つ二酸化珪素膜を常に一定状態でエッチング可能であり、バッチ間のバラツキがなくなる等、良好な再現性、制御性が得られる。
請求項（抜粋）：
弗化水素ガスによる二酸化珪素膜の気相エッチング方法において、雰囲気およびガスの水分量を監視し、それに基づいてエッチング工程を制御することを特徴とする気相エッチング方法。
IPC (2件)：
H01L 21/302
, H01L 21/304 341
