特許

J-GLOBAL ID：200903096381461800

ポジ型感光性組成物

発明者： 藤森 亨
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-357766
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156848
出願日： 2001年11月22日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 ハーフトーン露光適性(サイドローブ耐性)に優れ、かつ現像欠陥が少ないポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び、(C)少なくとも一つのフッ素原子を含有する含窒素化合物を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)少なくとも一つのフッ素原子を含有する含窒素化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/10 ,  C08F232/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/10 ,  C08F232/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (45件)：

2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AR09P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA05P ,  4J100BA05R ,  4J100BA06P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11R ,  4J100BA11S ,  4J100BA12P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15S ,  4J100BA16P ,  4J100BA34P ,  4J100BA40P ,  4J100BA58P ,  4J100BA59P ,  4J100BC02P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53R ,  4J100BC53S ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38