特許

J-GLOBAL ID：200903096383036391

放射線取出窓およびこれを有する露光装置

発明者： 寺島 茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-038419
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236425
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 露光装置などに好適な放射線取出窓として、ベリリウム以外の材料の使用を可能にすること。【構成】 ダイヤモンド製のX線取出窓11の光源側に、X線以外の波長(可視光や赤外線)を反射するアルミニウム膜12を蒸着する。露光装置内に可視光や赤外線が入射することを防ぎ、位置合わせ精度の劣化や温度上昇などの問題を解決する。

請求項（抜粋）：

所望の波長を含む放射線を取り出すための放射線取出窓であって、該窓部材の少なくとも放射線源側に、所望の波長以外の波長の少なくとも一部を透過させない膜を設けたことを特徴とした放射線取出窓。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 1/00 ,  G03F 7/20 503

FI (4件)：

H01L 21/30 531 Z ,  G02B 1/00 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 531 A