特許

J-GLOBAL ID：200903096384538803

エッチング装置

発明者： 神田 栄三郎
出願人/特許権者： 住友金属鉱山パッケージマテリアルズ株式会社
代理人 (2件)： 篠原 泰司 ,  藤中 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-072252
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281787
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】エッチング速度のバラツキを改善して高精度のエッチングを可能にするエッチング装置を提供する。【解決手段】直線走行する被エッチング材1上にエッチング液を噴射するためエッチング材1の搬送方向と交差する方向に往復動するノズル3,5を有し、該ノズルを等速移動せしめる装置2,4,6,7〜13を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被エッチング材を搬送して化学エッチングを行うエッチング装置において、直線走行する前記被エッチング材上にエッチング液を噴射するため前記エッチング材の搬送方向と交差する方向に往復動するノズルを有し、該ノズルを等速移動せしめる手段を備えたことを特徴とするエッチング装置。

IPC (3件)：

H01L21/306 ,  C23F1/08 ,  H05K3/06

FI (3件)：

H01L21/306 J ,  C23F1/08 103 ,  H05K3/06 Q

Fターム (13件)：

4K057WA11 ,  4K057WD07 ,  4K057WG08 ,  4K057WM07 ,  4K057WM09 ,  4K057WM10 ,  4K057WN01 ,  5E339BC02 ,  5E339BE11 ,  5E339EE10 ,  5F043AA22 ,  5F043EE07 ,  5F043GG02