干渉計

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048687
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241717
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】測定範囲および分解能を改善することが可能な干渉計を提供することを目的とする。【構成】光源にスペクトル線幅の広いインコヒーレント光源を用い、参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成する手段、および、参照光および/または信号光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴とする干渉計とすることにより、信号光の光路長が大きな場合でも、参照光と干渉させることが可能な干渉計を提供することが可能となる。この干渉計を用い、参照光路の可動鏡を掃引することで、長距離に渡る反射光分布の高分解能な測定を行うことが可能な射光分布計測手法を提供することが可能となる。

請求項（抜粋）：

参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成する手段、および、参照光および/または信号光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴とする、干渉計

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