特許

J-GLOBAL ID：200903096416800980

薄膜磁気ヘッドのスライダとその製造方法

発明者： 大川 貴子 ,  日良 康夫 ,  中村 敬一 ,  萩原 芳樹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-241364
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098950
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 磁気ディスク装置使用中に、ディスク面上の塵埃により発生する読み取りや書き込みのエラーを防止して、信頼性の高い記録再生を行うことができる薄膜磁気ヘッドのスライダとその製造方法の提供。【構成】 スライダのレール面に、磁気ディスクの回転開始からスライダが浮上するまでの間に磁気ディスク面上の微小な複数の塵埃を、収納可能な多数の微小な凹部をランダムに配置形成してなるスライダ。そして、粗大粒もしくは空孔を持つカーボン膜をマスクとして加工してスライダ溝と凹部を形成する方法。および、ホトレジストにレールパターンを露光現像により形成する際、予め前記凹部のパターンと同等のパターンのホトマスクを使用して前記凹部相当位置に微小穴を有するレジストパターンを形成し、該ホトレジストをマスクとして加工してスライダ溝と凹部を形成する方法。

請求項（抜粋）：

磁気ディスク面に相対する平面を並列状に配置された複数のレールと、該レールに沿って形成されたスライダ溝とを有し、磁気ディスク回転中に該磁気ディスク面と前記レール面との間に形成される微小間隙を介して浮上する薄膜磁気ヘッドのスライダにおいて、前記磁気ディスク面に相対する各レール面に、磁気ディスクの回転開始からスライダが浮上するまでの間に、磁気ディスク面上に存在する複数の微小な塵埃を収納可能な、直径が10〜100μm、深さ10〜5000nmの多数の微小な凹部を、ランダムに配置形成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッドのスライダ。