特許

J-GLOBAL ID：200903096417094060

透明材料のレーザー微細加工法

発明者： 王 俊 ,  新納 弘之 ,  矢部 明
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265837
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094163
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 レーザー照射で透明材料を簡便にかつ精密に微細加工できる方法を提供する。【解決手段】 レーザー波長に強い吸収を持つ流動性物質を透明材料裏面に接触させ、透明材料表面からレーザーを照射して、透明材料を微細エッチングする方法。

請求項（抜粋）：

流動性物質を透明材料の裏面に接触させ、透明材料の表面から強度範囲が0.01J/cm2/pulseから100J/cm2/pulseまでのレーザーを照射することを特徴とする透明材料の微細加工法。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/12

FI (2件)：

B23K 26/00 A ,  B23K 26/12

Fターム (9件)：

4E068AB01 ,  4E068AH00 ,  4E068CA01 ,  4E068CA02 ,  4E068CH08 ,  4E068CJ07 ,  4E068DB00 ,  4E068DB11 ,  4E068DB13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-180088
  
• 特開昭62-183981
  
• 透明体のレーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121341   出願人：日本板硝子株式会社