特許
J-GLOBAL ID：200903096433641348
自動アパーチャ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小堀 益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044727
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262736
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【課題】 新規なコヒーレンスファクター調節用の自動アパーチャ装置を提供する。【解決手段】 本発明によるコヒーレンスファクター調節用の自動アパーチャ装置は絞りアパーチャ及び前記アパーチャを自動に調節する駆動モータを具備する。前記駆動モータは絞りアパーチャの中心をX軸及びY軸に微細運動させるX及びY駆動モータと、絞りアパーチャの半径を調節するための調節用モータとよりなる。アパーチャを自動に調節させることにより、その半径を連続的に可変させることができ、アパーチャの中心自体がX軸及びY軸に微細運動するので、いずれのステッパの光軸にも微細な整列が可能である。
請求項（抜粋）：
ステッパのコヒーレンスファクターを調節するためのアパーチャにおいて、その半径及び中心が外力により可変する絞りアパーチャと、前記絞りアパーチャの半径及び中心を自動に調節するための駆動手段をそれぞれ具備することを特徴とするコヒーレンスファクター調節用自動アパーチャ装置。
IPC (4件)：
G03F 7/20 521
, G02B 26/02
, G03F 9/00
, H01L 21/027
G03F 7/20 521
, G02B 26/02 B
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 515 D
