基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-302268
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127132
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】扉が開放されている処理部に搬送手段が進入しようとしたときのみ確実に搬送手段を停止させる基板処理装置を提供する。【解決手段】処理部の扉が開放されたことを検知した扉センサ40はリレー28に検知信号を出力する。検知信号が入力されたリレー28は、エリアセンサ電源25とエリアセンサ20とを電通し、エリアセンサ20に電力供給を行って、エリアセンサ20を作動させる。その状態において当該処理部に搬送ロボットTR2が進入したときに、エリアセンサ20がその旨を検知し、リレー53に検知信号を出力する。検知信号が入力されたリレー53は、駆動電源50と搬送ロボットTR2とを遮断し、搬送ロボットTR2の動作を停止させる。従って、処理部の扉が開放され、かつその処理部に搬送ロボットTR2が進入したときにのみ、搬送ロボットTR2の動作が停止されることとなる。

請求項（抜粋）：

それぞれが扉を備えた複数の処理部を有し、搬送手段によって前記複数の処理部間で基板の搬送を行う基板処理装置であって、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放されていることを検知する扉開放検知手段と、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、それらの各処理部に前記搬送手段が進入していることを検知する進入検知手段と、前記複数の処理部のいずれかに設けられた前記扉開放検知手段が当該処理部の扉が開放されていることを検知するとともに、当該処理部に設けられた前記進入検知手段が当該処理部への前記搬送手段の進入を検知したときに、前記搬送手段を停止させる搬送停止制御手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/00 , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502 , H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/00 C , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502 , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C

Fターム (30件)：

2H025AA00 , 2H025AB08 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025EA05 , 2H025FA03 , 2H025FA14 , 2H096AA00 , 2H096CA14 , 2H096EA30 , 2H096GA29 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA08 , 5F031DA17 , 5F031GA43 , 5F031GA48 , 5F031GA50 , 5F031JA04 , 5F031MA09 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031NA09 , 5F031NA10 , 5F046CD01 , 5F046CD06 , 5F046DB14 , 5F046JA27 , 5F046LA11

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