特許
J-GLOBAL ID：200903096435162099
酸化物単結晶の製造方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217513
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067189
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】μ引下げ法によって酸化物単結晶を連続的に引き下げて生産するのに際して、酸化物単結晶の組成を制御できるようにし、一定の組成を有する酸化物単結晶を連続的に育成できるようにすることである。【解決手段】酸化物単結晶の原料の溶融物をルツボから連続的に引き下げて育成するのに際して、酸化物単結晶を引き下げる際の引下げ速度を変更することによって、酸化物単結晶の組成を制御することを特徴とする。好ましくは、酸化物単結晶の引下げ速度を20mm/時間以上、300mm/時間以下の範囲内で変更し、酸化物単結晶の育成が進行するのにつれて前記引下げ速度を減少させることができる。
請求項（抜粋）：
酸化物単結晶を引下げ法によって育成する方法であって、前記酸化物単結晶の原料の溶融物をルツボから連続的に引き下げて育成するのに際して、前記酸化物単結晶を引き下げる際の引下げ速度を変更することによってこの酸化物単結晶の組成を制御することを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。
IPC (6件)：
C30B 15/20
, C30B 15/08
, C30B 15/34
, C30B 29/30
, G02F 1/35 503
, H01S 3/109
C30B 15/20
, C30B 15/08
, C30B 15/34
, C30B 29/30 A
, G02F 1/35 503
, H01S 3/109
